Der er mange forberedelsesmetoder til amorf silicium tynd film solpaneler . Disse omfatter reaktiv sputtering, PECVD, LPCVD osv. Reaktantgassen er siH4 fortyndet med H2. Substraterne er hovedsageligt glas og rustfri stålplader, og de ikke-kvalitets siliciumfilm, der er fremstillet af dem, kan bruges til at opnå henholdsvis single junction celler og tandem solceller gennem forskellige celleprocesser.

Amorfe siliciumsolceller har et stort potentiale på grund af deres høje konverteringseffektivitet, lave omkostninger og lette. Men på samme tid, på grund af dens lave stabilitet, påvirker den direkte dens praktiske anvendelse. Hvis det yderligere kan løse problemet med stabilitet og forbedre konverteringsraten. Så er amorfe siliciumsolceller uden tvivl et af solcellernes vigtigste udviklingsprodukter.

Multi-sammensatte tyndfilm solceller For at finde en erstatning for monokrystallinske siliciumceller har man udviklet solceller af andre materialer udover polykrystallinsk silicium og amorf silicium tyndfilm solceller. Disse omfatter hovedsageligt galliumarsenid III-V gruppeforbindelser, cadmiumsulfid, cadmiumtellurid og kobberindiumselenid tyndfilmsbatterier. Blandt de ovennævnte batterier, selvom effektiviteten af ​​cadmiumtellurid og cadmiumsulfid polykrystallinske tyndfilmsbatterier er højere end for amorfe silicium tyndfilm solceller, er omkostningerne lavere end for enkeltprodukts siliciumbatterier, og det er nemt at masseproducerer, men fordi cadmium er meget giftigt, vil det forårsage alvorlig forurening af miljøet, derfor er det ikke den mest ideelle erstatning for krystallinske siliciumsolceller. Galliumarsenid III-V forbindelser og kobberindiumselenid tyndfilmsbatterier har fået bred opmærksomhed på grund af deres høje konverteringseffektivitet.